Plasma chemistry and physics

1/ Principes physiques : équations fondamentales, dynamique, phénomènes collisionnels, diffusion et transport.

2/ Réactions et processus chimiques : équilibres, thermodynamique, cinétique chimique.

3/ Source à plasma : décharges DC, corona, décharges RF, décharges micro-ondes, micro-plasmas

4/ Procédés plasmas: CVD, PVD, pulvérisation cathodique, polymérisation plasmas, ...

5/ Techniques d'analyse : spectroscopie d'émission optique, spectrométrie de masse, ...

Ce cours a pour objectif d'apporter aux étudiants la maîtrise des aspects fondamentaux de l'état Plasma et de ses applications dans le domaine de la chimie. Ce cours s'articule en 5 temps : principes physiques, réactions et processus chimiques, sources à plasma, procédés plasmas, techniques d'analyse de la phase plasma.

Séminaires, présentation des techniques instrumentales utilisées au service CHANI de l'ULB pour analyser les plasmas, enseignements sur la base d'articles scientifiques et de quelques exercices

Références, bibliographie et lectures recommandées

1/ Principles of Plasma Discharges and Materials Processing, Michael A. Lieberman, Alan J. Lichtenberg, Wiley, 22 avr. 2005 - 730 pages

2/ Plasma Chemistry, Alexander Fridman, Cambridge University Press, 5 mai 2008 - 1022 pages

Contacts

Thierry DUFOUR (tdufour@ulb.ac.be)

François RENIERS (freniers@ulb.ac.be)

Méthode(s) d'évaluation

• Autre

Autre

Examen Oral (et éventuellement une présentation sur la base de recherches bibliographiques)

Construction de la note (en ce compris, la pondération des notes partielles)

Module 4 ECTS

Langue(s) d'évaluation

• français
• anglais